半導体加工装置の開発史

本書は、NTT研究所の前身である電電公社電気通信研究所（通研）における半導体加工装置研究についての技術
史である。主として1975年以降の半導体加工装置と関連材料および生産管理システム技術開発について述べてい
る。開発のねらい、目標値、主な開発技術とその結果等を、根底の考え方を中心に記述している。また、開発途
上でも大きな技術的判断ミスとその対策例も可能な限り含めている。これら技術開発における基本的な考え方
は、これから技術開発を担う若い研究者や学生にとって、研究開発の一つのグッドプラクティスとして役立つも
のとなるであろう。また、通研での半導体技術開発の進め方を他の国内外の代表的研究機関と比較検討した結果
も記述してあり、研究開発プロジェクト運営の参考にもなるであろう。